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產品詳情
  • 產品名稱:半導體特氣檢漏儀

  • 產品型號:703
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簡單介紹:
ABC
詳情介紹:
型號:XP-703D 

  (自動吸引式) 

  半導體特氣檢漏儀  

特點:

    ¬       *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

    ¬       采用聲光報警。


  規(guī)格

      

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

(單位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

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